以金屬元素和非金屬元素對碳原子雜化方式的不同作用機理為設計理念，選擇合適的金屬元素（Me=Ti、Al、W）和非金屬元素（Si），通過多種物理氣相沉積和化學氣相沉積技術相結合的方法，制備系列超低摩擦和高耐磨性的Me/Si共摻雜a-C:H薄膜。研究了工藝參數、摻雜元素種類、含量對薄膜微觀結構、機械性能和摩擦學性能的影響。
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